Messagerie : [email protected]
Produits
Accueil Produits Lab Coater Sputtering Coater

machine de revêtement de coucheuse à pulvérisation magnétron compacte avec intégration plc

Contactez-nous

  • Contact Person : Louis Yang
  • Messagerie : [email protected]
  • Adresse : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
machine de revêtement de coucheuse à pulvérisation magnétron compacte avec intégration plc

machine de revêtement de coucheuse à pulvérisation magnétron compacte avec intégration plc

  • :

    VTC-16-SM
  • MOQ :

    1
  • :

    20 days
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

  • Messagerie :

    [email protected]

machine de revêtement de coucheuse à pulvérisation magnétron compacte avec intégration plc



vtc-16-sm est un haute puissance bureau magnétron coucheuse par pulvérisation plasma avec un tête de refroidissement 2 " , refroidisseur d'eau et porte-échantillon rotatif. l'unité de revêtement est conçue pour recouvrir tous les films métalliques jusqu'à Plaquette de 4 "de diamètre comprenant zn, al, ti et carbone film léger à un prix abordable. une cible al est incluse pour une utilisation immédiate. ( depuis le 18 mai 2015, ce produit n'est plus livré avec une pompe à vide en emballage standard. )

Caractéristiques

tension d'entrée

  • 220 vac 50 / 60hz
  • Une alimentation de 110 v est disponible en utilisant un Transformateur de 1000 W (15 fusibles) ). le transformateur est vendu séparément.

puissance de sortie

  • 1600 vdc
  • 250 w
  • 150 ma max.
  • Protection intégrée contre les surintensités (> 150 mA)

chambre de spécimen

  • tube en verre de quartz, 165 mm od. x 150 mm id x 250 mm hauteur


tête de pulvérisation & amp;
stade de spécimen


  • La tête de pulvérisation magnétron flexible de 2 "avec gaine de refroidissement par eau est incluse (fig.1)
  • un étage d'échantillonnage en acier inoxydable d'un diamètre de 50 mm peut tourner de 0 à 5 tr / min
  • un volet à commande manuelle pour la protection de la cible. (fig.2)
  • Un support de tête de pulvérisation est disponible pour maintenir la tête de pulvérisation en cas de non-fonctionnement.
  • la distance entre la tête de pulvérisation et le plateau d'échantillonnage est réglable de 60 à 100 mm.
  • zone de revêtement max: 4 "diamètre max.
  • un refroidisseur d'eau a recirculation d'air froid 10 l / min est inclus pour le refroidissement de la tête de pulvérisation. (fig.6)

Panneau de contrôle

  • Panneau de commande à écran tactile couleur de 6 "avec intégration PLC pour une utilisation facile
  • un panneau pour tous les paramètres de surveillance et de contrôle: vide, courant.

pression de vide ultime

  • port de vide kf25 intégré
  • le système nécessite un réservoir de gaz ar avec un régulateur de pression. (non inclus)
  • & lt; 1.0e-2 torr par pompe à vide à palettes (non inclus) pour cibles au, ag, pt, cu, mo (non sensibles à l'air)
  • & lt; 1.0e-5 torr par pompe turbomoléculaire (non incluse) pour les cibles al, mg, li, lr, ti, zn (sensibles à l'air)
  • le vide le plus bas peut atteindre & lt; 4.0e-6 torr par pompage pendant la nuit et cuisson

atmosphère gazeuse

  • un robinet à aiguille installé pour permettre à l'entrée de gaz ar d'obtenir un meilleur revêtement au plasma
  • le système nécessite un réservoir de gaz ar avec le régulateur de pression (non inclus)


cible

· une cible en cuivre de 2 "est incluse pour le test, taille de la cible: 2" dia.x 2,5mm.

  • il peut aussi enduire ag, al, cr, ni, pt, ti, sn, li, mg , etc. presque tous les types de matériaux métalliques.
  • Attention : cible en aluminium, chrome ou nickel peut être recouvert par cette machine, mais veuillez consulter la méthode de revêtement recommandée avant utilisation.
  • veuillez utiliser la pulvérisation par magnétron à plasma rf pour le revêtement d'alumine

Moniteur d'épaisseur de film en option

  • le moniteur d'épaisseur de film est optionnel moyennant des frais supplémentaires
  • une phase d’échantillon chauffable jusqu’à 500 ° C est disponible sur demande moyennant des frais supplémentaires
  • Un débitmètre pour une entrée de gaz de contrôle précise est disponible sur demande moyennant des frais supplémentaires.

dimension globale

  • l 440 mm × l 330 mm × h 290 mm

poids net

  • 20 kg

poids d'expédition & amp; dimension

  • 160 lb
  • 45 "x 45" x 40 "

conformité

  • approbation ce
  • La certification nrtl est disponible sur demande moyennant des frais supplémentaires. Veuillez contacter notre représentant des ventes pour obtenir un devis.

garantie

  • un an limité avec support à vie

Notes d'application

  • avertissement: la tête de pulvérisation se connecte à haute tension. l'opérateur doit porter des gants pendant le fonctionnement
  • assurez-vous que la cible, la tête de pulvérisation, le substrat et la phase de chauffage sont propres avant l'application du revêtement, utilisez du papier abrasif et de l'alcool pour nettoyer et rafraîchir chaque fois la cible en nickel ou en nickel.




Magnetron Sputtering Coater









paquet:

1 emballage standard exporté: protection anticollision interne, emballage externe de la boîte en bois.

2 expédition par exprès, par air, par mer selon les exigences des clients pour trouver le moyen le plus approprié.

3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie endommagée pour vous gratuitement.

Heure de livraison : 15-20 jours après confirmation de la commande, détail date de livraison doit être décidé en fonction

saison de production et quantité d'ordre.