Messagerie : [email protected]
Produits
Accueil Produits Lab Coater Sputtering Coater

compacte max.800 ° c 5 "dia wafer deux zones css four pour thermique rapide

Contactez-nous

  • Contact Person : Louis Yang
  • Messagerie : [email protected]
  • Adresse : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
compacte max.800 ° c 5 "dia wafer deux zones css four pour thermique rapide

compacte max.800 ° c 5 "dia wafer deux zones css four pour thermique rapide

  • :

    OTF-1200X-RTP-II-5
  • MOQ :

    1
  • :

    20 days
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

  • Messagerie :

    [email protected]

compacte max.800 ° c 5 "dia wafer deux zones css four pour thermique rapide


otf-1200x-rtp-ii-5 est un four de traitement thermique rapide avec chambre de quartz 11 "i.d.. Il est conçu pour l’évaporation thermique ou css ( sublimation rapprochée ) filmer des échantillons circulaires jusqu’à 5 "de diamètre et à une température maximale de 800 ° C. Le four est chauffé séparément par deux groupes de réchauffeurs à halogène (haut et bas), avec une capacité max. 10ºc / s taux de chauffage. deux régulateurs de température de précision à 30 segments sont intégrés avec une précision de +/- 1ºc. Le logiciel de contrôle et de port rs485 est inclus pour permettre le fonctionnement de la journalisation du four et du profil de température via un ordinateur. c'est un excellent outil pour la recherche sur les couches minces de nouvelle génération pour les cellules solaires, telles que les cellules solaires à cdte, à sulfure et à pérovskite.


Caractéristiques:

structure du four & amp; chambre à vide

· deux régulateurs de température.

· la chambre est faite de tube de quartz fondu de haute pureté.

· taille du tube de quartz: 11 "od / 10.8" id x 9 "h

· les brides à vide sont en acier inoxydable 316.

brides à vide

Two Zones CSS Furnace

Two Zones CSS Furnace

· La bride supérieure avec un orifice à vide kfd-25 et une sortie de gaz (tuyau 1/4 "requis) peut glisser vers le haut ou vers le bas pour charger et décharger facilement le substrat et le matériau évaporé.

· La bride inférieure a un orifice de vide kfd-25 avec une entrée de gaz (tuyau de 1/4 "requis) avec des vannes à aiguille.

· la bride est scellée par deux joints toriques en silicone et peut atteindre max. la pression de vide de 10e-2 torr par une pompe mécanique de qualité et de 10e-5 torr par une pompe moléculaire (la pompe à vide n'est pas incluse, à commander séparément).

· Un vacuomètre numérique est installé sur la bride supérieure.

· la mesure de vide numérique anti-corrosion de précision est dans le paquet standard (depuis le 24.03.2016) .

contrôle du débit de gaz

Two Zones CSS Furnace



mélangeur de gaz intégré à deux flotteurs-mètres avec plages de mesure réglables de 16 à 160 ml / m

chauffage et porte-échantillons
Two Zones CSS Furnace

· deux appareils de chauffage à commande indépendante avec un intervalle réglable manuellement de 2 à 30 mm.

· 20 lampes halogènes sont utilisées comme élément chauffant pour un traitement thermique rapide.

· Les appareils de chauffage sont en acier inoxydable avec une chemise froide pour réduire le rayonnement thermique et permettre un refroidissement rapide.

· Le support de tranche circulaire de 5 "de diamètre est intégré à l'élément chauffant supérieur pour maintenir le substrat.

· un jeu de plaques d'aln ou de graphite à haute conductivité thermique (5 "dia. x 0.5mm d'épaisseur) est inclus (placez-le sur le fond pour évaporer le matériau)

· un refroidisseur d'eau à circulation de 58 l / min est inclus pour économiser la source d'eau (cliquez sur l'image ci-dessous pour voir les spécifications détaillées).

Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace


Contrôleur de température

· Deux régulateurs de température numériques de précision avec 30 segments programmables offrent un contrôle indépendant des éléments chauffants supérieur et inférieur.

· chaque contrôleur a une fonction d'auto-réglage pid pour protéger les appareils de chauffage contre les dépassements excessifs et une fonction d'alarme pour éviter la surchauffe et un couple thermique sont rompus.

· interface de communication PC & amp; Un logiciel est installé pour enregistrer le profil de température indiqué ci-dessous.

·Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace



température de fonctionnement

· température maximale pour chaque appareil de chauffage: & lt; = = 800 ºC.

· Différence de température maximale entre deux appareils de chauffage: <= 300 ºC dépend de l’espacement entre deux appareils de chauffage:

o espacement 30mm max. différence de température: 315ºc @ fond chauffant uniquement

chauffage & amp; taux de refroidissement

· chauffage: & lt; 8ºc / s (chauffage individuel uniquement)

· refroidissement: & lt; 10ºc / s (600 - 100ºc) max.

couple thermique

deux couples thermiques de type k sont installés séparément sur les éléments chauffants supérieur et inférieur.

Tension de travail

220vac, monophasé, briseur d'air 60a requis

Puissance requise

9,5kw au total

dimensions

Two Zones CSS Furnace 1085mm l x 680mm lx 1710mm h

poids d'expédition & amp; dimension

· deux palettes: 525 lb et 48 "x 40" x 87 "et 165 lb avec une dimension de 39x31x29"





optionnel

· une pompe à vide est nécessaire. veuillez commander séparément en cliquant sur la première image de gauche ci-dessous. niveau de vide peut atteindre & lt; = 10e-2 torr par pompe mécanique.

· Si vous utilisez un gaz corrosif, envisagez d'utiliser la pompe anti-corrosion à sec indiquée sur la deuxième photo en bas à gauche (pompe pfeiffer de l'Allemagne) moyennant des frais supplémentaires.

· vous pouvez choisir un système de distribution de gaz numérique mfc en cliquant sur la première image à partir de la droite ci-dessous.

Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnacec Two Zones CSS Furnace

garantie

un an limité avec une assistance à vie (les consommables tels que les tubes de quartz et les lampes chauffantes ne sont pas couverts par la garantie).

ordinateur portable, logiciel et amp; contrôle wifi (optionnel)
Two Zones CSS FurnaceTwo Zones CSS Furnace

· ordinateur portable flambant neuf avec microsoft window 10 et microsoft office 2013 (essai gratuit de 30 jours) pour une utilisation immédiate.

· système de contrôle de température basé sur labview ( eq-mts01 ) permet à l’utilisateur d’éditer le profil de température, de gérer une recette de traitement thermique, d’enregistrer et de tracer des données pour les fours à combustion interne.

· une télécommande sans fil offre une plage de fonctionnement allant jusqu'à 300 mètres.

· Les fonctions ci-dessus sont disponibles sur demande moyennant des frais supplémentaires (jusqu'à 1 000 dollars). Veuillez nous contacter pour plus d'informations.

· Remarque: le logiciel est uniquement compatible avec tmax Le contrôleur de température yudian


notes d'application & amp; avertissements
Two Zones CSS Furnace

· les fours tubulaires à tube de quartz sont conçus pour une utilisation sous vide et basse pression & lt; 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa. les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000 ° C. le débit des gaz doit être limité à & lt; 200 sccm (ou 200 ml / min) pour réduire les chocs thermiques sur le tube.

· attention : un détendeur à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz pour limiter la pression à moins de 3 psi pour un fonctionnement en toute sécurité.

· le support de cette fournaise est conçu pour transporter de courtes distances sur une surface plane




CSS Furnace









paquet:

1 emballage standard exporté: protection anticollision interne, emballage externe de la boîte en bois.

2 expédition par exprès, par air, par mer selon les exigences des clients pour trouver le moyen le plus approprié.

3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie endommagée pour vous gratuitement.

Heure de livraison : 15-20 jours après confirmation de la commande, détail date de livraison doit être décidé en fonction

saison de production et quantité d'ordre.