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la puissance d'entrée
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monophasé 220 Vac, 50 / 60hz
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700 W (pompe à vide incluse)
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pour utiliser 110 VAC, nous allons inclure un transformateur pour vous. veuillez sélectionner la tension dans les options du produit
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puissance de sortie
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chambre à vide
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chambre à vide: 150 mm id x 165 mm od x 150 mm h, en quartz de haute pureté
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bride d'étanchéité en acier inoxydable avec joint torique plat
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étage de prélèvement avec chauffage
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taille de la scène: 50 mm dia.
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plage de pulvérisation: 25 - 40 mm réglable
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Platine rotative à trois positions de pulvérisation (contrôlée par l'écran tactile)
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chauffe-substrat est intégré avec une température de chauffage maximale de 500 ° C
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Le régulateur de température pid avec une précision de +/- 1 ° C est intégré à l'écran tactile
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Panneau de contrôle
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Écran tactile couleur 6 ”avec intégration PLC pour une utilisation facile
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la jauge à vide, le compteur de courant de pulvérisation et le contrôle de la température du substrat sont intégrés au panneau à écran tactile
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boutons de réglage sur le panneau avant pour l'admission de gaz et le contrôle du courant de pulvérisation
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la position de pulvérisation, la minuterie de pulvérisation et l'enregistrement des processus sont accessibles à partir de l'écran tactile
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bouclier
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acier inoxydable cage de bouclier est inclus pour une protection supplémentaire
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cibles de pulvérisation
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exigences de taille de cible: 47 mm dia. x 2,5 mm max
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Trois cibles sont incluses dans le package standard pour une utilisation immédiate:
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au cible , 47 mm dia. x 0,12 mm
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cible ag , 47 mm dia. x 0,5 mm
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cible de cu , 47 mm dia. x 2,5 mm
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diverses cibles sont disponibles sur commande à tmax
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pompe à vide
(optionnel)
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Prise de vide kf25 intégrée pour la connexion à une pompe à vide.
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Une pompe à vide avec connecteur kf25 est requise mais non incluse. l'utilisateur peut choisir
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une pompe à vide mécanique à double étage pour le vide jusqu'à 1.0e-2 torr.
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ou un pompe turbo pour le vide jusqu'à 1.0e-5 torr
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la pompe à vide peut être branchée sur la prise de courant située à gauche de la machine à enduire pour un contrôle automatique
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dimensions
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440 mm l × 330 mm l × 455 mm h
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poids net
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conformité
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approbation ce
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La certification rencontrée (ul 1450) est disponible sur demande moyennant des frais supplémentaires. Veuillez contacter notre représentant des ventes pour obtenir un devis.
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garantie
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un an limité avec support à vie
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Notes d'application
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pour une adhérence optimale entre le film et le substrat, veuillez nettoyer la surface du substrat avant l'application du revêtement:
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nettoyage par ultrasons avec les bains séquentiels suivants - (1) acétone, (2) alcool isopropylique - pour éliminer les huiles et les graisses. Séchez le substrat avec n2, puis faites cuire à chaud au vide pour éliminer l'humidité absorbée
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le nettoyage au plasma peut être nécessaire pour rendre la surface rugueuse, activer les liaisons chimiques de surface ou pour éliminer la contamination
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une couche tampon mince (~ 5 nm), telle que cr, ti, mo, ta, pourrait être appliquée pour améliorer l'adhérence des métaux et des alliages
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un régulateur de pression à deux étages (non inclus) doit être installé sur la bouteille de gaz afin de limiter la pression de sortie du gaz à moins de 0,02 mpa pour une utilisation en toute sécurité. veuillez utiliser & gt; 5n pureté ar gas pour la pulvérisation plasma
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la coucheuse à pulvérisation peut être placée dans une boîte à gants ar et n2 pour le revêtement
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haute tension! les têtes de pulvérisation se connectent à haute tension. pour des raisons de sécurité, l'opérateur doit éteindre l'équipement avant le chargement de l'échantillon et le changement de cible
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Ce modèle ne convient pas au revêtement de matériaux métalliques légers tels que al, mg, zn, ni, etc. en raison de la faible énergie. veuillez considérer notre coucheuse à pulvérisation magnétron ou la coucheuse à évaporation thermique. cliquez sur les images ci-dessous pour plus de détails
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Louis@lithmachine.com
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