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structure & amp; Caractéristiques
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Chambre à quartz de 6 "od x 10" h pour un nettoyage facile et le chargement des échantillons
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Porte-échantillon rotatif de 2 "pour un pelliculage uniforme
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Réchauffeur à serpentin en tungstène et creuset en alumine pour le revêtement à haute température jusqu'à 1700 ºc
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contrôle de température de précision avec 30 segments programmables et une précision de +/- 1 ºc
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vide élevé peut être atteint jusqu'à 1.0e-5 torr via turbopompe en option
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le port d'écoulement de gaz et la soupape sont intégrés pour la purge de la chambre et la possibilité d'un cvd
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la puissance d'entrée
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tension d'entrée: 208 - 240 VAC 50/60 Hz, monophasé
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puissance d'entrée: 500 w
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puissance de sortie: 40 un courant max. courant de travail recommandé & lt; 20 a
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câble d'alimentation inclus sans la fiche
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contrôle de la température & amp; chauffages
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Un élément chauffant à serpentin en tungstène avec un thermocouple est intégré au fond du creuset en alumine (pour le contrôle de la température (photo 1). Veuillez vous reporter à l'image de gauche pour les dimensions
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thermocouple type s (inclus et installé) - chauffage de 200 ºC à 1 500 ºC (photo 2)
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thermocouple de type b en option (en supplément) - chauffage de 1 200 ºC à 1 700 ºC
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un régulateur de température numérique avec 30 segments programmables et une précision de +/- 1 ºC (photo 3)
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les réglages de temps du contrôleur de température sont en secondes. recommande de limiter la température de chauffage / taux de refroidissement à 0,3 ºC / s (ou 20 ºC / min) en dessous de 1200 ºC, et de limiter à 0,15 ºC / s (ou 10 ºC / min) de 1200 à 1700 ºC
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pour chauffage continu supérieur à 1300 ºc, veuillez limiter la durée de fonctionnement à moins de 1 heure pour préserver la durée de vie du joint torique de la bride inférieure
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pour un revêtement rapide jusqu’à 2000 ° C, tel qu’il est nécessaire dans un revêtement de carbone, l’utilisateur peut retirer le thermocouple, le bloc thermique en alumine et le creuset en alumine, charger le matériau d’évaporation directement dans le réchauffeur de tungstène et utiliser le mode de contrôle manuel actuel (image 4). )
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quatre creusets en alumine (jusqu'à 1700 ºc) et deux réchauffeurs à serpentin en tungstène sont inclus. veuillez vous référer à la section optionnelle pour commander des pièces de rechange
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porte-échantillon
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un diamètre de 50 mm la platine échantillon rotative et son obturateur sont installés sur la bride supérieure.
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vitesse de rotation: 5 tr / min
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la distance entre le porte-échantillon et la source d'évaporation est réglable de 40 mm à 85 mm
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Moniteur d'épaisseur de film (optionnel)
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capteur d'épaisseur de quartz de précision est facultatif. il peut être intégré à la chambre pour permettre une surveillance instantanée de l'épaisseur du film avec une précision de 0,10 Å. unité d'affichage led à l'extérieur de la chambre peut:
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information sur le matériau de revêtement d'entrée basée sur la base de données incluse
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afficher l'épaisseur totale du revêtement et sa vitesse
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précision film mince & amp; systèmes d'analyse de revêtements - eq-tfms-ld est disponible à un coût supplémentaire
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vide
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Le port de vide kf25 est installé pour se connecter à une pompe à vide
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le vide le plus élevé peut atteindre <4.0e-6 torr en pompant pendant la nuit avec une pompe turbomoléculaire en option
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une pompe à vide est nécessaire pour le revêtement. veuillez choisir parmi les options de produit suivantes
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pas de pompe à vide. jauge à diaphragme capacitif anticorrosion est inclus pour le vide jusqu'à 1.0e-6 torr
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Pompe à vide rotative à double étage avec obturateur de vapeur pour éliminer le brouillard d'huile pouvant atteindre le vide jusqu'à 1,0e-2 torr pour l'évaporation de matériaux métalliques nobles, tels que l'or, l'argent et les matériaux organiques.
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entrée de gaz
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Un raccord pour tube de 1/4 est intégré pour la purge de la chambre ou le traitement du gaz
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une soupape à pointeau est intégrée pour contrôler le débit de gaz
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optionnel
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supplémentaire creuset en alumine et réchauffeur de bobine de tungstène peut être commandé à tmax à un coût supplémentaire
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Au total, 4 creusets de sources d'évaporation pourraient être utilisés pour déposer plusieurs matériaux différents afin de développer des multicouches une à une dans la même atmosphère de chambre.
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dimension globale
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dimension de la chambre de quartz
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o.d.:165mm
i.d .: 150mm
longueur: 250mm
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conformité
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garantie
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garantie limitée d'un an avec support à vie
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poids net
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poids d'expédition & amp; dimensions
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Notes d'application
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atteindre le vide poussé requis pour l’évaporation de certains matériaux, l’utilisateur peut
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vérifiez que la chambre, le joint torique et la bride ne contiennent aucune particule, fibre ou égratignure. utilisez un chiffon non pelucheux imbibé d'alcool isopropylique (ipa) pour nettoyer la surface
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utilisez du ruban chauffant pour cuire la chambre à 150 ºC et préchauffez le serpentin et le creuset à 500 ºC tout en pompant avec la pompe turbo en option pendant au moins 2 heures
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pomper la chambre pendant la nuit sans chauffer si un vide supérieur à 1.0e-5 torr est nécessaire
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la coucheuse peut être placée dans une boîte à gants gaz ar ou n2 pour permettre une évaporation thermique de l'humilité & amp; matériaux sensibles à l'oxygène, tels que le métal li.
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Ne démarrez pas le programme de chauffage et n'augmentez pas le courant manuellement sans une enceinte fermée et un vide!
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ne relâchez pas le vide et ne cessez pas de pomper lorsque la machine à enduire est en mode d'évaporation! pendant le refroidissement de l'appareil de chauffage, arrêtez de pomper ou libérez le vide uniquement lorsque la température est inférieure à 100 ºC!
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