structure du four
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four, deux régulateurs de température et débitmètres de gaz à deux canaux sont intégrés dans un cadre en alliage d’aluminium mobile.
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la chambre est faite de tube de quartz fondu de haute pureté avec dimesion de 11 "od / 10,8" id x 9 "h.
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les brides à vide sont en acier inoxydable 316 et sont soulevées par un moteur électrique.
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deux plaques chauffantes ir de 5 "x5" et l'espacement sont réglables.
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Le porte-échantillon supérieur peut tourner à la vitesse 0 - 7 t / min.
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La bride supérieure avec un orifice à vide kfd-25 et une sortie de gaz (tuyau 1/4 "requis) peut glisser vers le haut ou vers le bas pour charger et décharger facilement le substrat et le matériau évaporé.
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La bride inférieure a un orifice de vide kfd-25 avec une entrée de gaz (tuyau de 1/4 "requis) avec des vannes à aiguille.
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la bride est scellée par deux joints toriques en silicone et peut atteindre max. la pression de vide de 10e-2 torr par une qualité pompe mécanique et 10e-5 torr par une pompe moléculaire (la pompe à vide n’est pas incluse, à commander séparément).
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Un vacuomètre numérique est installé sur la bride supérieure.
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la mesure de vide numérique anti-corrosion de précision est dans le paquet standard (depuis le 24.03.2016) .
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chauffage et porte-échantillons
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deux appareils de chauffage à commande indépendante avec écartement réglable manuellement de 2 à 30 mm.
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20 lampes halogènes sont utilisées comme élément chauffant pour un traitement thermique rapide.
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Les appareils de chauffage sont fabriqués en acier inoxydable avec une chemise d’eau froide afin de réduire le rayonnement thermique et sont capables de refroidir rapidement.
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Le support de tranche circulaire de 5 "de diamètre est intégré à l'élément chauffant supérieur pour maintenir le substrat.
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un jeu de plaques Aln à haute conductivité thermique (5 "dia. x 0,5 mm d'épaisseur) est inclus (placez-le à l'arrière du substrat pour le faire chauffer uniformément).
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un refroidisseur d'eau à circulation de 58 l / min est inclus pour économiser la source d'eau (cliquez sur l'image ci-dessous pour voir les spécifications détaillées).
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le porte-échantillon supérieur peut tourner à une vitesse réglable de 0 à 7 tr / min
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Contrôleur de température
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Deux régulateurs de température numériques de précision avec 30 segments programmables offrent un contrôle indépendant des éléments chauffants supérieur et inférieur.
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chaque contrôleur possède une fonction d'auto-réglage pid pour protéger les chauffages contre les dépassements excessifs et une fonction d'alarme pour empêcher toute surchauffe d'endommager les couples thermiques.
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interface de communication PC & amp; les logiciels sont installés pour (cliquez sur l'image ci-dessous pour plus de détails) l'enregistrement du profil de température indiqué ci-dessous.
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température de fonctionnement
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température maximale pour chaque appareil de chauffage: ≤ 800 ºC.
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différence de température maximale entre deux appareils de chauffage: ≤ 300 ºC dépend de l'espacement entre deux appareils de chauffage:
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espacement 30mm max. différence de température: 315ºc @ fond chauffant uniquement
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chauffage & amp; taux de refroidissement
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chauffage: & lt; 8ºc / s (chauffage individuel uniquement)
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refroidissement: & lt; 10ºc / s (600 - 100ºc) max.
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couple thermique
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deux couples thermiques de type k sont installés séparément sur les éléments chauffants supérieur et inférieur.
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Tension de travail
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208 - 240vac, monophasé, disjoncteur 50a
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Puissance requise
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10 kw au total
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poids d'expédition & amp; dimension
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deux palettes: 525 lb et 48 "x 40" x 87 "et 165 lb avec une dimension de 39x31x29"
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optionnel
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une pompe à vide est nécessaire. veuillez commander séparément en cliquant sur la première image de gauche ci-dessous. le niveau de vide peut atteindre ≤ 10e-2 torr par pompe mécanique.
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Si vous utilisez un gaz corrosif, veuillez utiliser un piège cryogénique ou une pompe sèche anti-corrosive illustrée dans l'image 2-3, moyennant un coût supplémentaire.
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vous pouvez choisir un système de distribution de gaz numérique mfc en cliquant sur la première image à partir de la droite ci-dessous.
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garantie
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un an limité avec une assistance à vie (les consommables tels que les tubes de quartz et les lampes chauffantes ne sont pas couverts par la garantie).
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notes d'application & amp; avertissements
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les fours tubulaires à tube de quartz sont conçus pour une utilisation sous vide et basse pression & lt; 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa. les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000 ° C. le débit des gaz doit être limité à & lt; 200 sccm (ou 200 ml / min) pour réduire les chocs thermiques sur le tube.
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une ttention : un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz afin de limiter la pression à moins de 3 psi pour un fonctionnement en toute sécurité.
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le support de cette fournaise est conçu pour le transport de courte distance sur une surface plane (sans creux ni bosses) uniquement.
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Louis@lithmachine.com
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