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mini-four à tube coulissant pecvd à zone de température

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mini-four à tube coulissant pecvd à zone de température

mini-four à tube coulissant pecvd à zone de température

  • :

    LITH-1200-SlidingPEC
  • MOQ :

    1
  • :

    40 days
  • Compliance:

    CE
  • Warranty:

    2 years
  • Delivery Time:

    40 days
  • Messagerie :

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mini-four à tube coulissant pecvd à zone de température


lith-1200-slidepec Le système est composé d’un four tubulaire à vide tl1200, d’une chambre à vide à quartz, d’une alimentation haute fréquence, d’un système d’alimentation en gaz gx, d’un système de pompage et d’un système de mesure du vide.

caractéristiques principales:

1. le gaz dans la chambre à vide à quartz est transformé en état ionique par alimentation RF.

2. pecvd est inférieur au cvd normal pour le dépôt chimique en phase vapeur.

3. la contrainte des films déposés peut être contrôlée par la fréquence de l'alimentation RF.

4. Le pecvd a un taux de dépôt élevé, une bonne uniformité, une consistance et une stabilité par rapport au cvd normal.

5. largement utilisé dans la croissance de divers films, tels que siox, sinx, sioxny et silicium amorphe (a-si: h), etc.

la lith-1200-slidepec technique du système à l'élément chauffant en fil à résistance kanthal suédois, utilisant une structure à double coque et un tableau de contrôle de la température à 30 programmes, déclencheur de déphasage, contrôle à thyristor, four utilisant un matériau fibreux à base d'alumine polycristalline, bidon l'installation de bride en acier inoxydable a une bouche, une vanne et un manomètre, le vide, le degré de vide peut atteindre 10-3 pa, l'équilibrage de champ à basse température, la température de surface, le taux de température de levée, les économies d'énergie, les concessions de prix, etc.

1. Kanthal a1 fil de résistance de la Suède

Kanthal a1 original fil four à résistance chinois vs importé four à fil de résistance

(1), la température de surface élevée peut atteindre 1420

(2) la surface est en acier inoxydable (très brillant, le client doit y prêter attention), elle ne rouille pas et le temps d'utilisation ne tombe pas du laitier.

(3) les données du fil de résistance kanthal sont téléchargées

(4) Site Web du fil de résistance kanthal: www.kanthal.com

(5) la résistance est équilibrée et le champ de température est également bon

la plupart des fabricants utilisent un alliage fe-cr-al dopé par un fil de résistance mo, qui

parfois la résistance est inégale et une partie de la chaleur est faible kanthal la résistance est uniforme et équilibrée thermiquement, bon effet de champ de température

2. installation d'interrupteur d'air et de protection contre les fuites:

lorsqu’un courant électrique ou une fuite, une réunion vide se déconnecte automatiquement.

3 peut se connecter avec un ordinateur

ce four est équipé d'une interface de communication et d'un logiciel, peut être directement contrôlé par l'ordinateur du four de chaque paramètre et peut être observé à partir de l'ordinateur pv sur le poêle et la valeur de température sv et le fonctionnement de l'instrument, la température réelle du calculateur de courbe de four en temps réel, et peut conserver les données de température de chaque heure, peut appeler à tout moment


4 chambre

(1 ) four polymérisé à fibres d'alumine polycristalline de haute qualité avec aspiration sous vide et moulage par filtration.

(2). adopter la technologie japonaise pour former.

(3). l'espacement et le pas du fil de résistance dans le four sont agencés selon la meilleure technologie thermique du Japon, et le champ de température est simulé par un logiciel thermique

(4). en utilisant 4 semaines de chauffage, la température est plus équilibrée

5. tableau électrique certifié par ul facultatif (tout au long de la certification ul des appareils électriques importés)

6. déclencheur

déclencheur de limitation de courant à démarrage progressif la plupart des fabricants utilisent des déclencheurs non limitatifs de xiamen bode

1 déclencheur de déphasage (avec démarrage progressif et fonction de limitation de courant)

2. Fonction de limitation du courant, peu importe la façon de régler le temps de chauffage, nous fournissons une fournaise électrique après que le courant secondaire du transformateur est limité à 170a ou une protection moins limitée de l'équipement. déclenchement non limitatif si le taux de chauffage est réglé incorrectement ou trop rapidement. Le courant faible est très grand, le périphérique va déclencher ou griller.

3 fonction de démarrage progressif le courant augmentera lentement le courant l'impact de l'élément chauffant est faible est propice à l'allongement de la durée de vie de l'élément chauffant

4 la fonction de protection si le courant dépasse le courant limite, le déclencheur coupera automatiquement la fonction de déclencheur pour couper le four de protection de courant.

7. ul transformateur certifié

1 le câble du transformateur est en cuivre pur

2 le transformateur sonne petit

3 la température du transformateur est basse

8. une variété d'options pour choisir une variété de brides (diamètre de 25 à 250 mm)

modèle

lith -1200-glissantpecvd1

lith -1200-glissantpecvd2

Puissance

1.5kw

taille du tube

dia25 (od) x1250mm

dia50 (od) x1250mm

dimensions hors tout (lxdxh)

1800x410x610

1800x460x660

la tension d'alimentation

220 v

matériau de glissière

Acier inoxydable 304

mode coulissant

roulement en acier inoxydable

nombre de phase

monophasé

élément chauffant

importer un fil de résistance suédois canthal a1 cliquez sur le téléchargement de données

le mode de contrôle

utilisation du thermomètre de contrôle de programme électrique yu (standard)
1. 30 ajustement intelligent pid de la température de contrôle de programme.
2. le circuit de chauffage de la fournaise électrique peut être automatiquement coupé lorsqu'il a été protégé contre la chaleur ou brisé accidentellement. (Lorsque la température du four dépasse 1200 degrés ou que le thermocouple est cassé, le relais alternatif du circuit principal sera automatiquement déconnecté, le circuit principal est cassé, le voyant du panneau est éteint, le voyant est éteint, le four électrique à protection limitée.
3. avec interface de communication 485 (standard et standard pour le choix du logiciel)
4. il a la fonction de protection contre les coupures de courant, c’est-à-dire que, lorsque le courant est coupé, le programme ne démarre pas à partir de la température initiale, mais la fournaise commence à monter quand il est éteint.
l'instrument a la fonction de réglage automatique de la température


(pour remplacer l'instrument importé, nous devons payer une autre taxe.)

fp93 table de contrôle de la température instruments européens instrument à écran tactile

(shimaden)

le mode de contrôle de la température

pid

protection et affichage cassés

Oui

protection contre la surchauffe

Oui

Protection contre les surintensités

Oui

précision de contrôle

+ / - 1

la gachette

déclencheur de déphasage

appareils électriques

Zhejiang Chint

redresseur contrôlé au silicium

106 / 16e porte ouest, allemagne

la plus haute température

zone de température 1: 1200 zone de température 2: 1200

la température nominale

zone de température 1: 1100 zone de température 2: 1100

taux de chauffage

le 20 / min ou moins (peut être modifié selon les besoins )

taux de chauffage recommandé

dix / min ou les s

modèle de thermocouple

zones 1: plage de température de type k 2: type k

longueur de chauffage

zones 1: plage de température de 200 mm. 2: 200 mm

certification électrique

ce

température de surface environnante

45 ou les s

alimentation rf

(générateur de plasma)

plage de puissance

0-500 w

puissance maximale réfléchie

200 w.

fréquence de travail

rf: 13,56 mhz plus ou moins 0,005%

stabilité de puissance

+ / - 0,1%

composante harmonique

- 50 dbc ou moins

largeur de rf

0-600 - mm est réglable

mode correspondant

automatique

mode de refroidissement

air froid

bruit

le & lt; 50 db

l'interface radiofréquence

50 Ω n - type

la puissance d'entrée

208-240 - v 50/60 hz

principaux paramètres du système d'alimentation en gaz gx

Débitmètre massique
la gamme standard
utilisant le contrôleur de flux de protons 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm, 1, 2, 3, 5, 10 slm
(vous pouvez choisir la gamme de la gamme et le type du gaz)
pression de travail maximale 3 mp
la précision de plus ou moins 1,5%
la chute de pression & lt; 0,01 mpa & lt; p = "" & gt;
répétez la précision plus ou moins 0,2% f.s

canaux:

1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (facultatif)

type de joint

connecteur double cassette en acier inoxydable

plage de pression de travail du système

0,1 ~ 0,5 mpa

température de fonctionnement

5-45

montre de vide de pression

0,1 ~ 0,15 mpa à 0,01 mpa / caisse

chambre de mélange statique

dia50 x 400 mm

interface

dia6 1/4 "

l'alimentation

220 v

Taille

600 x 600x600

Tuyau ondulé

kf25x1000mm

le degré de vide peut être atteint avec ce système

10-1 le pa

soupape déflecteur de vide

kf25

vrd à 8 pompe à vide

modèle

vrd à 8

limite de pression partielle

5 x10-2 pa

interface d'échappement d'admission

kf25

vitesse du moteur

1440 tours par minute

taux d'extraction

2,2 l / s

Puissance du moteur

0,4 kw

perfeer acp1 pompe à racines multi-étages sans huile (plan 2)

modèle

acp15

source de courant

ac100 ~ 240v 50 / 60hz

Puissance

450 W

interface d'échappement

kf25

poids

25 kg

le taux de fuite maximal d'hélium est

5 · 10-8 pa m3 / s

degré de vide extrême

0,02 torr

le taux d'extraction est

14 m3 / h

modèle

zdr - 1

Puissance

25 w.

plage de mesure du degré de vide

0,1-10 5 par an

résistance au silicium

ce que zj avait à 52 t

suède (inficon) vacuomètre capacitif pirani (en option)

modèle

pcg554

tension d'entrée

24v 1a dc (équipé d'un transformateur 220v)

interface de jauge à vide

kf16

affichage numérique

affichage numérique (taille d'écran 20x14mm), dont l'unité d'affichage des données est torr

taille du produit

46mm x 28mm x 126mm (l x l x h)

le poids de la

5 lb

détection de gaz

divers gaz peuvent être détectés, y compris des gaz mélangés, précis et reproductibles.

si l'anti-corrosion

protection contre la corrosion

le temps de réponse

30 ms ou moins

plage de mesure

3,8 x 10-5-1125 torr.

unité de pompe moléculaire (facultatif)

tension d'entrée de l'unité

380 v / 220 v

Tuyau ondulé

kf40x1000

soupape déflecteur de vide

kf40

taille de la valise

600 x 600x600

pompe moléculaire

modèle de pompe moléculaire

fj620

tension d'entrée

380 v

bride d'entrée de pompe moléculaire

dn160

débit de pompage moléculaire l / s (pour l'air)

600

pression limite de la pompe moléculaire (pa)

6 x 10-7

système de refroidissement

refroidi à l'eau

pression de l'eau de refroidissement (mpa)

0,1 à 0,2

température de l'eau de refroidissement

& lt; 25 & lt; p = "" & gt;

la température de l'environnement

0 ~ 40

pression de départ suggérée

& lt; 100 pa & lt; p = "" & gt;

pompe à vide moteur rvp - 6

Puissance

0,75 kw

Tension

380 v

la vitesse

1450 tours / minute

diamètre d'entrée

kf25 / kf40

débit de pompage (l / s)

6

pression ultime

4 x10-2 pa

pompe à vide allemande pfeiffer

Tension

220 v

Puissance

110 w.

interface d'extraction

kf40

le poids de la

150 kg

vitesse de la pompe avant

0,9 m 3 / h

taux d'extraction (n2)

33 m / s

jauge à vide composé

modèle de jauge à vide composé

zdf

l'alimentation

220 v 55 w

précision de contrôle

plus ou moins 1%

plage de mesure du vacuomètre

10-5-10 5 pa



PE/CVD Furnace










paquet:

1 emballage standard exporté: protection anticollision interne, emballage externe de la boîte en bois.

2 expédition par exprès, par air, par mer selon les exigences des clients pour trouver le moyen le plus approprié.

3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie endommagée pour vous gratuitement.

Heure de livraison : 15-20 jours après confirmation de la commande, détail date de livraison doit être décidé en fonction

saison de production et quantité d'ordre.