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LITH-1200X-RTP-HV-LDMOQ :
1Compliance:
CEWarranty:
2 yearsDelivery Time:
5 daysMessagerie :
Louis@lithmachine.competit système de four tubulaire RTP de 4 "avec station de vide turbomoléculaire et accessoires complets
lith-1200x-rtp-hv-ld est un ul tube de traitement thermique rapide compact certifiable (4 "i.d.) avec station de vide poussé (pompe à diaphragme + pompe turbo moléculaire) et ensemble bride à vide kf-d25. il est conçu pour le recuit de wafers semi-conducteurs ou de cellules solaires jusqu'à 3" de diamètre. la Le four est chauffé par 8 unités de lumière halogène de 1kw autour du tube de traitement avec un max. taux de chauffage de max. 50c / seconde. Le contrôleur de température de précision 50 segments est intégré avec une précision de +/- 1 ° c.
fourneau |
structure |
four tubulaire rtp 4 ”compact ( doublure double couche en mullite) |
élément chauffant |
8 tubes de lumière halogène (d = 10 l = 300 t = 200, mm) |
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temp de travail |
1100 ° C max. ( le temps de maintien maximum de ce four RTF doit être inférieur à 600 secondes à 1000 ° C ~ 1100 ° C, sinon le joint torique risque de fondre ) |
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taux de chauffage max |
50 ° c / sec |
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taux de refroidissement max |
64 ° c / min (sous vide: 200 mtorr), 117 ° c / min (sous pression atmosphérique) |
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zone de chauffage |
Longueur de 12 "avec zone de température constante de 4" avec une uniformité de +/- 1 ° C |
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programme temp. manette |
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tube de quartz & amp; porte-échantillon |
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bride à vide |
La bride à haute dépression kf-d25 est en acier inoxydable avec double salut-temp. joints toriques en silicone, vannes à aiguille. |
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veste de refroidissement par eau |
avertissement: la durée maximale de séjour de cette fournaise RTT doit être inférieure à 600 secondes à 1000 ° C ~ 1100 ° C avec de l’eau du robinet, sinon le joint torique pourrait fondre. avec l'utilisation d'un refroidisseur d'eau à recirculation, ce temps de maintien peut être étendu à 1 200 secondes. |
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débitmètre |
un débitmètre est installé sur le panneau avant pour régler le débit de gaz de 0 à 160 ml / min |
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entrée de puissance |
208-240 ac, 50/60 hz monophasé, 9 kw max. (& gt; 60a disjoncteur requis) |
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station de hv |
structure |
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degré de vide |
6.3e-5 mbar (avec four tubulaire RTP de 4 "en 40 minutes) |
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Panneau de contrôle |
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auto-test faire tourner
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le temps de démarrage |
2 minutes |
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débit volumétrique de la pompe secondaire à 10 mbar |
3,8 l / min pour 50hz et 4,4 l / min pour 60hz |
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entrée de puissance |
110 V ca ou 220 V ca commutable, 50 / 60hz |
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consommation d'énergie |
durée / puissance maximale: 100 / 110watt |
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informations d'expédition |
poids et dimension |
four à cuisson rapide: 110 lb, 760 x 330 x 530 mm (30 "x 13" x 21 "pouces) l xlxh |
garantie |
garantie limitée de deux ans avec support à vie (Les pièces consommables telles que les tubes de traitement, les joints toriques ne sont pas couvertes par la garantie, veuillez commander des pièces de rechange aux produits connexes ci-dessous.) |
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ordinateur portable, logiciel et amp; contrôle wifi (optionnel) |
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conformité |
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1 emballage standard exporté: protection anticollision interne, emballage externe de la boîte en bois.
2 expédition par exprès, par air, par mer selon les exigences des clients pour trouver le moyen le plus approprié.
3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie endommagée pour vous gratuitement.
Heure de livraison : 15-20 jours après confirmation de la commande, détail date de livraison doit être décidé en fonction
saison de production et quantité d'ordre.