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petit système de four tubulaire RTP de 4 "avec station de vide turbomoléculaire et accessoires complets

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petit système de four tubulaire RTP de 4 "avec station de vide turbomoléculaire et accessoires complets

petit système de four tubulaire RTP de 4 "avec station de vide turbomoléculaire et accessoires complets

  • :

    LITH-1200X-RTP-HV-LD
  • MOQ :

    1
  • :

    30 days
  • Compliance:

    CE
  • Warranty:

    2 years
  • Delivery Time:

    30 days
  • Messagerie :

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petit système de four tubulaire RTP de 4 "avec station de vide turbomoléculaire et accessoires complets


lith-1200x-rtp-hv-ld est un ul tube de traitement thermique rapide compact certifiable (4 "i.d.) avec station de vide poussé (pompe à diaphragme + pompe turbo moléculaire) et ensemble bride à vide kf-d25. il est conçu pour le recuit de wafers semi-conducteurs ou de cellules solaires jusqu'à 3" de diamètre. la Le four est chauffé par 8 unités de lumière halogène de 1kw autour du tube de traitement avec un max. taux de chauffage de max. 50c / seconde. Le contrôleur de température de précision 50 segments est intégré avec une précision de +/- 1 ° c.


fourneau

structure

four tubulaire rtp 4 ”compact ( doublure double couche en mullite)

élément chauffant

8 tubes de lumière halogène (d = 10 l = 300 t = 200, mm)

temp de travail

1100 ° C max. ( le temps de maintien maximum de ce four RTF doit être inférieur à 600 secondes à 1000 ° C ~ 1100 ° C, sinon le joint torique risque de fondre )

taux de chauffage max

50 ° c / sec

taux de refroidissement max

64 ° c / min (sous vide: 200 mtorr), 117 ° c / min (sous pression atmosphérique)

zone de chauffage

Longueur de 12 "avec zone de température constante de 4" avec une uniformité de +/- 1 ° C

programme temp. manette

  • Contrôle automatique pid via scr (redresseur au silicium) commande de puissance avec allumage par angle de phase, résistance de limitation de courant.
  • 30 segments programmables pour un contrôle précis de la vitesse de chauffage, de la vitesse de refroidissement et du temps de séjour.
  • s'il vous plaît cliquez ici pour savoir pourquoi scr est plus précis que ssc (relais à semi-conducteurs).
  • fonction de réglage automatique pid avec surchauffe & amp; thermocouple cassé protection cassée.
  • la protection contre la surchauffe et l'alarme permettent un fonctionnement sans préposé.
  • Précision de température de +/- 1 ºC.
  • port de communication rs485.
  • contrôle pc:
    • une mts-02 module de controle est inclus pour le contrôle de PC sur cette fournaise.
    • la nouvelle version du module pc est maintenant compatible avec la vue laboratoire 05/08/2014
    • un ordinateur portable peut être commandé pour 900 $ avec le four. nous vous recommandons de commander un ordinateur (ordinateur portable) chez nous pour éviter les problèmes d'installation de logiciel nous effectuerons l'installation et les tests avant l'expédition .

tube de quartz & amp; porte-échantillon

  • taille du tube de quartz: 4.33 "o.d x 4.05" i.d x 16,2 "longueur
  • Un porte-échantillon de 3 "de diamètre est inséré dans la bride coulissante en quartz
  • une tranche de 3 "de diamètre est placée au centre du support pour le recuit de l'échantillon jusqu'à 3" dia.
  • aln a une conductivité thermique très élevée, ce qui offre la meilleure uniformité de la température dans la zone de l'échantillon
  • le porte-échantillon est amovible de la bride

bride à vide

La bride à haute dépression kf-d25 est en acier inoxydable avec double salut-temp. joints toriques en silicone, vannes à aiguille.
La bride coulissante facilite le chargement des échantillons. Porte-échantillon en quartz de 3 ". Couplage thermique insérable pour des mesures précises.

veste de refroidissement par eau

  • l'eau de refroidissement est nécessaire.
  • veuillez vous assurer que le débit d'eau de refroidissement est ≥ 10 l / min, température de l'eau. & lt; 25ºc; pression & gt; 25 psi.
  • nous suggérons d'utiliser la série eq-kj5000 refroidisseur d'eau à recirculation en tant que système de refroidissement (à commander séparément auprès des produits connexes ci-dessous) pour économiser l'eau.

avertissement: la durée maximale de séjour de cette fournaise RTT doit être inférieure à 600 secondes à 1000 ° C ~ 1100 ° C avec de l’eau du robinet, sinon le joint torique pourrait fondre. avec l'utilisation d'un refroidisseur d'eau à recirculation, ce temps de maintien peut être étendu à 1 200 secondes.

débitmètre

un débitmètre est installé sur le panneau avant pour régler le débit de gaz de 0 à 160 ml / min

entrée de puissance

208-240 ac, 50/60 hz monophasé, 9 kw max. (& gt; 60a disjoncteur requis)

station de hv
station de vide poussé

structure

  • taille du chariot mobile: 600 (l) x 600 (l) x 700 (l), mm
  • max. chargement: 600 lb sur le dessus
  • panneau de commande de pompe moléculaire: lcd digital
  • pompe à membrane et pompe turbo moléculaire sont installés à l'intérieur du boîtier en acier.

degré de vide

6.3e-5 mbar (avec four tubulaire RTP de 4 "en 40 minutes)

Panneau de contrôle

  • opération à un bouton - la pompe diaphram et la pompe turbo moléculaire démarreront après avoir appuyé sur le bouton "start".
  • vitesse de rotation contrôlée par le système - le contrôleur contrôlera la vitesse de rotation de la turbine en fonction du niveau de vide et du taux de fuite de la chambre de réaction.
  • protection de soi - le système protégera la pompe contre les dommages dus à une surchauffe et à la surcharge si le taux de fuite de la chambre de réaction est trop élevé pour atteindre un vide poussé.
  • écran LCD - interface de vérification des paramètres double lignes rendre le travail plus facile à manipuler.
auto-test faire tourner

le temps de démarrage

2 minutes

débit volumétrique de la pompe secondaire à 10 mbar

3,8 l / min pour 50hz et 4,4 l / min pour 60hz

entrée de puissance

110 V ca ou 220 V ca commutable, 50 / 60hz

consommation d'énergie

durée / puissance maximale: 100 / 110watt

informations d'expédition

poids et dimension

four à cuisson rapide: 110 lb, 760 x 330 x 530 mm (30 "x 13" x 21 "pouces) l xlxh
station hv: 40 lb, 600 x 600 x 700 mm (24 "x 24" x 28 ") l xlxh

garantie

garantie limitée de deux ans avec support à vie (Les pièces consommables telles que les tubes de traitement, les joints toriques ne sont pas couvertes par la garantie, veuillez commander des pièces de rechange aux produits connexes ci-dessous.)

ordinateur portable, logiciel et amp; contrôle wifi (optionnel)

  • ordinateur portable flambant neuf avec microsoft window 10 et microsoft office 2013 (essai gratuit de 30 jours) pour une utilisation immédiate.
  • système de contrôle de température basé sur labview permet à l’utilisateur d’éditer le profil de température, de gérer une recette de traitement thermique, d’enregistrer et de tracer des données pour les fours à combustion interne.
  • une télécommande sans fil offre une plage de fonctionnement allant jusqu'à 300 mètres.
  • Les fonctions ci-dessus sont disponibles sur demande moyennant des frais supplémentaires (jusqu'à 1 000 dollars). Veuillez nous contacter pour plus d'informations.

conformité

  • certifié CE
  • le four est prêt à passer ul 61010, iec 61010, testé par 1000 à des coûts supplémentaires. veuillez nous contacter pour un devis et des informations détaillées.
  • contrôleur de température est rencontré et ce certifié
  • station de vide poussé certifiée tuv



Tube Furnace









paquet:

1 emballage standard exporté: protection anticollision interne, emballage externe de la boîte en bois.

2 expédition par exprès, par air, par mer selon les exigences des clients pour trouver le moyen le plus approprié.

3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie endommagée pour vous gratuitement.

Heure de livraison : 15-20 jours après confirmation de la commande, détail date de livraison doit être décidé en fonction

saison de production et quantité d'ordre.