mini-four à tube coulissant pecvd à zone de température

:
LITH-1200-SlidingPEC
MOQ :
1
Compliance:
CE
Warranty:
2 years
Delivery Time:
5 days
Messagerie :
Louis@lithmachine.com

mini-four à tube coulissant pecvd à zone de température

lith-1200-slidepec Le système est composé d’un four tubulaire à vide tl1200, d’une chambre à vide à quartz, d’une alimentation haute fréquence, d’un système d’alimentation en gaz gx, d’un système de pompage et d’un système de mesure du vide.

caractéristiques principales:

1. le gaz dans la chambre à vide à quartz est transformé en état ionique par alimentation RF.

2. pecvd est inférieur au cvd normal pour le dépôt chimique en phase vapeur.

3. la contrainte des films déposés peut être contrôlée par la fréquence de l'alimentation RF.

4. Le pecvd a un taux de dépôt élevé, une bonne uniformité, une consistance et une stabilité par rapport au cvd normal.

5. largement utilisé dans la croissance de divers films, tels que siox, sinx, sioxny et silicium amorphe (a-si: h), etc.

la lith-1200-slidepec technique du système à l'élément chauffant en fil à résistance kanthal suédois, utilisant une structure à double coque et un tableau de contrôle de la température à 30 programmes, déclencheur de déphasage, contrôle à thyristor, four utilisant un matériau fibreux à base d'alumine polycristalline, bidon l'installation de bride en acier inoxydable a une bouche, une vanne et un manomètre, le vide, le degré de vide peut atteindre 10-3 pa, l'équilibrage de champ à basse température, la température de surface, le taux de température de levée, les économies d'énergie, les concessions de prix, etc.

1. Kanthal a1 fil de résistance de la Suède

Kanthal a1 original fil four à résistance chinois vs importé four à fil de résistance

(1), la température de surface élevée peut atteindre 1420 ℃

(2) la surface est en acier inoxydable (très brillant, le client doit y prêter attention), elle ne rouille pas et le temps d'utilisation ne tombe pas du laitier.

(3) les données du fil de résistance kanthal sont téléchargées

(4) Site Web du fil de résistance kanthal: www.kanthal.com

(5) la résistance est équilibrée et le champ de température est également bon

la plupart des fabricants utilisent un alliage fe-cr-al dopé par un fil de résistance mo, qui

parfois la résistance est inégale et une partie de la chaleur est faible kanthal la résistance est uniforme et équilibrée thermiquement, bon effet de champ de température

2. installation d'interrupteur d'air et de protection contre les fuites:

lorsqu’un courant électrique ou une fuite, une réunion vide se déconnecte automatiquement.

3 peut se connecter avec un ordinateur

ce four est équipé d'une interface de communication et d'un logiciel, peut être directement contrôlé par l'ordinateur du four de chaque paramètre et peut être observé à partir de l'ordinateur pv sur le poêle et la valeur de température sv et le fonctionnement de l'instrument, la température réelle du calculateur de courbe de four en temps réel, et peut conserver les données de température de chaque heure, peut appeler à tout moment

4 chambre

(1 ) four polymérisé à fibres d'alumine polycristalline de haute qualité avec aspiration sous vide et moulage par filtration.

(2). adopter la technologie japonaise pour former.

(3). l'espacement et le pas du fil de résistance dans le four sont agencés selon la meilleure technologie thermique du Japon, et le champ de température est simulé par un logiciel thermique

(4). en utilisant 4 semaines de chauffage, la température est plus équilibrée

5. tableau électrique certifié par ul facultatif (tout au long de la certification ul des appareils électriques importés)

6. déclencheur

déclencheur de limitation de courant à démarrage progressif la plupart des fabricants utilisent des déclencheurs non limitatifs de xiamen bode

1 déclencheur de déphasage (avec démarrage progressif et fonction de limitation de courant)

2. Fonction de limitation du courant, peu importe la façon de régler le temps de chauffage, nous fournissons une fournaise électrique après que le courant secondaire du transformateur est limité à 170a ou une protection moins limitée de l'équipement. déclenchement non limitatif si le taux de chauffage est réglé incorrectement ou trop rapidement. Le courant faible est très grand, le périphérique va déclencher ou griller.

3 fonction de démarrage progressif le courant augmentera lentement le courant l'impact de l'élément chauffant est faible est propice à l'allongement de la durée de vie de l'élément chauffant

4 la fonction de protection si le courant dépasse le courant limite, le déclencheur coupera automatiquement la fonction de déclencheur pour couper le four de protection de courant.

7. ul transformateur certifié

1 le câble du transformateur est en cuivre pur

2 le transformateur sonne petit

3 la température du transformateur est basse

8. une variété d'options pour choisir une variété de brides (diamètre de 25 à 250 mm)

modèle	lith -1200-glissantpecvd1		lith -1200-glissantpecvd2
Puissance	1.5kw
taille du tube	dia25 (od) x1250mm		dia50 (od) x1250mm
dimensions hors tout (lxdxh)	1800x410x610		1800x460x660
la tension d'alimentation	220 v
matériau de glissière	Acier inoxydable 304
mode coulissant	roulement en acier inoxydable
nombre de phase	monophasé
élément chauffant	importer un fil de résistance suédois canthal a1 cliquez sur le téléchargement de données
le mode de contrôle	utilisation du thermomètre de contrôle de programme électrique yu (standard) 1. 30 ajustement intelligent pid de la température de contrôle de programme. 2. le circuit de chauffage de la fournaise électrique peut être automatiquement coupé lorsqu'il a été protégé contre la chaleur ou brisé accidentellement. (Lorsque la température du four dépasse 1200 degrés ou que le thermocouple est cassé, le relais alternatif du circuit principal sera automatiquement déconnecté, le circuit principal est cassé, le voyant du panneau est éteint, le voyant est éteint, le four électrique à protection limitée. 3. avec interface de communication 485 (standard et standard pour le choix du logiciel) 4. il a la fonction de protection contre les coupures de courant, c’est-à-dire que, lorsque le courant est coupé, le programme ne démarre pas à partir de la température initiale, mais la fournaise commence à monter quand il est éteint. l'instrument a la fonction de réglage automatique de la température (pour remplacer l'instrument importé, nous devons payer une autre taxe.) fp93 table de contrôle de la température instruments européens instrument à écran tactile (shimaden)
le mode de contrôle de la température	pid
protection et affichage cassés	Oui
protection contre la surchauffe	Oui
Protection contre les surintensités	Oui
précision de contrôle	+ / - 1 ℃
la gachette	déclencheur de déphasage
appareils électriques	Zhejiang Chint
redresseur contrôlé au silicium	106 / 16e porte ouest, allemagne
la plus haute température	zone de température 1: 1200 ℃ zone de température 2: 1200 ℃
la température nominale	zone de température 1: 1100 ℃ zone de température 2: 1100 ℃
taux de chauffage	le 20 ℃ / min ou moins (peut être modifié selon les besoins )
taux de chauffage recommandé	dix ℃ / min ou les s
modèle de thermocouple	zones 1: plage de température de type k 2: type k
longueur de chauffage	zones 1: plage de température de 200 mm. 2: 200 mm
certification électrique	ce
température de surface environnante	45 ℃ ou les s
alimentation rf	(générateur de plasma)
plage de puissance	0-500 w
puissance maximale réfléchie	200 w.
fréquence de travail	rf: 13,56 mhz plus ou moins 0,005%
stabilité de puissance	+ / - 0,1%
composante harmonique	- 50 dbc ou moins
largeur de rf	0-600 - mm est réglable
mode correspondant	automatique
mode de refroidissement	air froid
bruit	le & lt; 50 db
l'interface radiofréquence	50 Ω n - type
la puissance d'entrée	208-240 - v 50/60 hz
principaux paramètres du système d'alimentation en gaz gx	Débitmètre massique la gamme standard utilisant le contrôleur de flux de protons 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm, 1, 2, 3, 5, 10 slm (vous pouvez choisir la gamme de la gamme et le type du gaz) pression de travail maximale 3 mp la précision de plus ou moins 1,5% la chute de pression & lt; 0,01 mpa & lt; p = "" & gt; répétez la précision plus ou moins 0,2% f.s
canaux:	1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (facultatif)
type de joint	connecteur double cassette en acier inoxydable
plage de pression de travail du système	0,1 ~ 0,5 mpa
température de fonctionnement	5-45 ℃
montre de vide de pression	0,1 ~ 0,15 mpa à 0,01 mpa / caisse
chambre de mélange statique	dia50 x 400 mm
interface	dia6 1/4 "
l'alimentation	220 v
Taille	600 x 600x600
Tuyau ondulé	kf25x1000mm
le degré de vide peut être atteint avec ce système	10-1 le pa
soupape déflecteur de vide	kf25
vrd à 8 pompe à vide
modèle		vrd à 8
limite de pression partielle		5 x10-2 pa
interface d'échappement d'admission		kf25
vitesse du moteur		1440 tours par minute
taux d'extraction		2,2 l / s
Puissance du moteur		0,4 kw
perfeer acp1 pompe à racines multi-étages sans huile (plan 2)
modèle		acp15
source de courant		ac100 ~ 240v 50 / 60hz
Puissance		450 W
interface d'échappement		kf25
poids		25 kg
le taux de fuite maximal d'hélium est		5 · 10-8 pa m3 / s
degré de vide extrême		0,02 torr
le taux d'extraction est		14 m3 / h
modèle		zdr - 1
Puissance		25 w.
plage de mesure du degré de vide		0,1-10 5 par an
résistance au silicium		ce que zj avait à 52 t
suède (inficon) vacuomètre capacitif pirani (en option)
modèle		pcg554
tension d'entrée		24v 1a dc (équipé d'un transformateur 220v)
interface de jauge à vide		kf16
affichage numérique		affichage numérique (taille d'écran 20x14mm), dont l'unité d'affichage des données est torr
taille du produit		46mm x 28mm x 126mm (l x l x h)
le poids de la		5 lb
détection de gaz		divers gaz peuvent être détectés, y compris des gaz mélangés, précis et reproductibles.
si l'anti-corrosion		protection contre la corrosion
le temps de réponse		30 ms ou moins
plage de mesure		3,8 x 10-5-1125 torr.
unité de pompe moléculaire (facultatif)
tension d'entrée de l'unité		380 v / 220 v
Tuyau ondulé		kf40x1000
soupape déflecteur de vide		kf40
taille de la valise		600 x 600x600
pompe moléculaire
modèle de pompe moléculaire		fj620
tension d'entrée		380 v
bride d'entrée de pompe moléculaire		dn160
débit de pompage moléculaire l / s (pour l'air)		600
pression limite de la pompe moléculaire (pa)		6 x 10-7
système de refroidissement		refroidi à l'eau
pression de l'eau de refroidissement (mpa)		0,1 à 0,2
température de l'eau de refroidissement		& lt; 25 ℃ & lt; p = "" & gt;
la température de l'environnement		0 ~ 40 ℃
pression de départ suggérée		& lt; 100 pa & lt; p = "" & gt;
pompe à vide moteur rvp - 6
Puissance		0,75 kw
Tension		380 v
la vitesse		1450 tours / minute
diamètre d'entrée		kf25 / kf40
débit de pompage (l / s)		6
pression ultime		4 x10-2 pa
pompe à vide allemande pfeiffer
Tension		220 v
Puissance		110 w.
interface d'extraction		kf40
le poids de la		150 kg
vitesse de la pompe avant		0,9 m 3 / h
taux d'extraction (n2)		33 m / s
jauge à vide composé
modèle de jauge à vide composé		zdf
l'alimentation		220 v 55 w
précision de contrôle		plus ou moins 1%
plage de mesure du vacuomètre		10-5-10 5 pa