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Four compact à deux zones pour traitement thermique rapide avec tube de quartz 11 "

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Four compact à deux zones pour traitement thermique rapide avec tube de quartz 11 "

Four compact à deux zones pour traitement thermique rapide avec tube de quartz 11 "

  • :

    OTF-1200X-RTP-II
  • MOQ :

    1
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

    5 days
  • Messagerie :

    Louis@lithmachine.com

Four compact à deux zones pour traitement thermique rapide avec tube de quartz 11 "



otf-1200x-rtp-ii est un four de traitement thermique rapide à deux zones de chauffe avec un tube en quartz de 11 ". Il est conçu pour le pvd ou le css ( sublimation rapprochée ) pelliculage jusqu’à 3 "de diamètre ou 2" x2 "de carré. Le four est chauffé séparément par deux groupes de réchauffeurs à halogène (haut et bas) avec une vitesse de chauffage maximale de 20 ° C / s. Deux régulateurs de température à 30 segments sont intégrés Une précision de +/- 1 ° C. Un port rs485 et un logiciel de contrôle sont inclus pour permettre l’exploitation de l’enregistrement du profil du four et de la température via un PC. cellule solaire erovskite.


Caractéristiques:

structure du four & amp; chambre à vide
Two Zones CSS Furnace

· double chauffage, deux régulateurs de température, débitmètres de gaz à deux canaux intégrés dans un cadre en alliage d'aluminium mobile

· la chambre est faite de tube de quartz fondu de haute pureté

· taille du tube de quartz: 11 "od / 10.8" id x 9 "h

· les brides à vide sont en acier inoxydable 316

· dimension totale: 850 (l) × 745 (l) × 1615 (h) mm

brides à vide

Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace

· La bride supérieure avec un orifice à vide kfd-25 et deux sorties de gaz (tuyau 1/4 "requis) peut glisser vers le haut ou vers le bas pour charger et décharger facilement le substrat et le matériau évaporé

· la bride inférieure a un orifice de vide kfd-25 avec deux entrées de gaz (tuyau de 1/4 "requis) et des vannes à aiguille

· La bride est scellée par deux joints toriques en silicone et peut atteindre une pression de vide maximale de 10e-2 torr par une pompe mécanique de qualité et de 10e-5 torr par une pompe moléculaire (la pompe à vide n'est pas incluse, à commander séparément)

· la mesure de vide numérique anti-corrosion de précision est dans le paquet standard (depuis le 24.03.2016) .

débitmètres de gaz

Two Zones CSS Furnace

Deux flotteurs sont installés sur le panneau de commande avec une plage de mesure de:

· 16 -160 ml / m

· 400 - 4000 ml / m (à des fins de purge)

chauffage et porte-échantillons
Two Zones CSS Furnace

Two Zones CSS FurnaceTwo Zones CSS Furnace

· deux lampes infrarouges à ondes courtes comme éléments chauffants pour un chauffage rapide.

· la distance entre deux appareils de chauffage est réglable de 10 à 50 mm

· les appareils de chauffage sont en acier inoxydable avec une chemise d'eau froide pour réduire le rayonnement thermique et permettre un refroidissement rapide

· Porte-plaquette rond de 3 " est intégré avec le chauffage supérieur pour charger le substrat

· une plaque d'aluminium à haute conductivité thermique (3 "dia x 0.5mm d'épaisseur) est incluse, qui doit être placée à l'arrière du substrat pour le chauffer uniformément

· une plaque de graphite de 3 "peut être utilisée alternativement pour une plaque, veuillez cliquer sur l'image ci-dessous pour la commander.

· Le remplacement du radiateur halogène est disponible à un coût supplémentaire

Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace



Contrôleur de température

· deux régulateurs de température numériques de précision avec 30 segments programmables offrent un contrôle indépendant des éléments chauffants supérieur et inférieur

· chaque contrôleur a une fonction de réglage automatique pid pour protéger les chauffages contre les dépassements et une fonction d'alarme pour éviter la surchauffe et les ruptures thermiques

· interface de communication PC & amp; le logiciel est installé pour (cliquer sur l'image ci-dessous pour plus de détails) l'enregistrement du profil de température indiqué ci-dessous



température de fonctionnement

· température maximale pour chaque appareil de chauffage: & lt; = 650ºc

· Différence de température maximale entre deux appareils de chauffage: <= 300 ºC dépend de l’espacement entre deux appareils de chauffage:

o espacement 30mm max. différence de température: 315ºc @ fond chauffant uniquement

o espacement 40mm max. différence de température: 350ºc @ fond chauffant uniquement

o espacement 50mm max. différence de température: 395ºc @ fond chauffant uniquement

chauffage & amp; taux de refroidissement

· chauffage: & lt; 8ºc / s (chauffage individuel uniquement)

· refroidissement: & lt; 10ºc / s (600 - 100ºc) max.

couple thermique

deux couples thermiques de type k (exposés) sont installés séparément sur les éléments chauffants supérieur et inférieur

Tension de travail

208 - 240vac, monophasé, disjoncteur 20a

Puissance requise

2200w total (1100w pour chaque appareil de chauffage)





optionnel

· une pompe à vide est nécessaire. veuillez commander séparément en cliquant sur la première image de gauche ci-dessous. niveau de vide peut atteindre & lt; = 10e-2 torr par pompe mécanique

· si vous utilisez un gaz corrosif, envisagez d'utiliser une pompe sèche anti-corrosive qui est illustrée dans la deuxième image de gauche ci-dessous (pompe pfeiffer de allemagne) à un coût supplémentaire

· vous pouvez commander un refroidisseur d'eau à recirculation pour économiser la source d'eau séparément

· vous pouvez choisir le système de distribution de gaz numérique mfc en cliquant sur la première image à partir de la droite en dessous

Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace

garantie

limitée à un an avec une assistance à vie (les pièces consommables telles que les tubes de quartz et les lampes chauffantes ne sont pas couvertes par la garantie)

ordinateur portable, logiciel et amp; contrôle wifi (optionnel)

· ordinateur portable flambant neuf avec microsoft window 10 et microsoft office 2013 (essai gratuit de 30 jours) pour une utilisation immédiate.

· système de contrôle de température basé sur labview ( eq-mts01 ) permet à l’utilisateur d’éditer le profil de température, de gérer une recette de traitement thermique, d’enregistrer et de tracer des données pour les fours à combustion interne.

· une télécommande sans fil offre une plage de fonctionnement allant jusqu'à 300 mètres.

· Les fonctions ci-dessus sont disponibles sur demande moyennant des frais supplémentaires (jusqu'à 1 000 dollars). Veuillez nous contacter pour plus d'informations.

·

Remarque:
le logiciel est uniquement compatible avec le régulateur de température yudian de mti
Two Zones CSS FurnaceTwo Zones CSS Furnace ·

Notes d'application

s'il vous plaît lire l'article: cellule solaire css css haute efficacité


Attention
Two Zones CSS Furnace

· les fours tubulaires à tube de quartz sont conçus pour une utilisation sous vide et basse pression & lt; 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa. les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000 ° C. le débit des gaz doit être limité à & lt; 200 sccm (ou 200 ml / min) pour réduire les chocs thermiques sur le tube.

· attention : un détendeur à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz pour limiter la pression à moins de 3 psi pour un fonctionnement en toute sécurité.





CSS Furnace









paquet:

1 emballage standard exporté: protection anticollision interne, emballage externe de la boîte en bois.

2 expédition par exprès, par air, par mer selon les exigences des clients pour trouver le moyen le plus approprié.

3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie endommagée pour vous gratuitement.

Heure de livraison : 15-20 jours après confirmation de la commande, détail date de livraison doit être décidé en fonction

saison de production et quantité d'ordre.