Messagerie : [email protected]
Produits
Accueil Produits Lab Coater Sputtering Coater

compacte machine de revêtement par pulvérisation magnétron à plasma rf de 2 pouces pour films minces non métalliques

Contactez-nous

  • Contact Person : Louis Yang
  • Messagerie : [email protected]
  • Adresse : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
compacte machine de revêtement par pulvérisation magnétron à plasma rf de 2 pouces pour films minces non métalliques

compacte machine de revêtement par pulvérisation magnétron à plasma rf de 2 pouces pour films minces non métalliques

  • :

    VTC-2RF
  • MOQ :

    1
  • :

    20 days
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

  • Messagerie :

    [email protected]

compacte machine de revêtement par pulvérisation magnétron à plasma rf de 2 pouces pour films minces non métalliques


vtc-2rf est un système de pulvérisation compact à magnétron plasma à tête unique compact de 2 ", recouvrant un film mince, principalement en oxyde. Il intègre tous les composants dans une armoire sur pied, comprenant une source d'alimentation RF, une chambre à vide à quartz, une pompe à vide et de l'eau de recirculation. le refroidisseur et le moniteur d’épaisseur de film, etc. c’est un appareil de couchage excellent et économique pour recouvrir un film mince de matériau non conducteur dans du matériau recyclé.

Caractéristiques

la puissance d'entrée

  • 220 Vac, 50 / 60hz, monophasé
  • 800 W (pompe comprise)
  • si la tension est de 110 VCA, un transformateur de 1000 W est requis, veuillez cliquer sur l'image de gauche pour commander

source d'alimentation

  • un 13,5 mhz, générateur RF 300 W avec adaptation automatique La fonction est intégrée dans l’armoire et connectée à une tête de pulvérisation de 2 ".
  • facultatif: une source d'alimentation de pulvérisation cc est disponible pour le revêtement d'un matériau métallique

tête de pulvérisation magnétron



  • une tête de pulvérisation magnétron de 2 "avec gaines de refroidissement par eau est incluse et insérée dans la chambre de quartz via une fixation rapide
  • un volet est construit sur la bride (commande manuelle)
  • un refroidisseur d'eau à recirculation à commande numérique de 16 l / min est requis pour le refroidissement des têtes de pulvérisation magnétron
  • La tête de pulvérisation de 1 "est remplaçable et optionnelle moyennant des frais supplémentaires
  • Le câble rf de 148 cm est remplaçable moyennant des frais supplémentaires

cible de pulvérisation

  • exigence de taille de la cible: 2 "diamètre x 1/4" épaisseur max
  • une cible sio2 est incluse pour le test de démonstration.
  • cible en céramique al2o3 recommander la méthode de revêtement
  • Des cibles de pulvérisation de 2 "en option (avec plaque d'appui) sont disponibles sur demande moyennant des frais supplémentaires.

chambre à vide

  • chambre à vide: 160 mm x 150 mm id x 250 mm de hauteur. en quartz de haute pureté
  • bride d'étanchéité: 165 mm dia. en aluminium avec joint torique en silicone pour hautes températures
  • la couverture de maille d'acier inoxydable est incluse pour 100% protégeant du rayonnement de rf de la chambre
  • niveau de vide: 1.0e-2 torr avec pompe mécanique à deux étages incluse et 1.0e-5 torr avec turbopompe en option

porte-échantillon

  • le porte-échantillon est rotatif et apte au chauffage et est constitué d'un élément chauffant en céramique avec couvercle en acier inoxydable
  • la taille du porte-échantillon: 50 mm dia. pour 2 "wafer max
  • la vitesse de rotation est réglable: 1 - 10 tr / min pour un revêtement uniforme
  • la température du support est réglable de rt à 500 ° C max avec une précision de +/- 1,0 ° C via un contrôleur de température numérique.
  • Un porte-échantillon chauffant de 800 à 1000 ° C est disponible sur demande sur demande.
  • Un support de vibration optionnel est disponible pour le revêtement pvd. (photo 3 ci-dessous)

station de pompage à vide


  • Le port de vide kf25 est intégré pour la connexion à une pompe à vide.
  • une pompe à vide avec adaptateur kf25 est nécessaire, mais pas inclus .. s'il vous plaît cliquez sur l'image pour commander séparément.
  • niveau de vide: 1.0e-2 torr avec pompe mécanique à deux étages et 1.0e-5 torr avec la turbopompe

optionnel

  • Un capteur d'épaisseur de quartz de précision est optionnel. Il peut être intégré à la chambre pour contrôler l'épaisseur du revêtement avec une précision de 0,10 Å. l'ordinateur portable est requis pour le rayon d'épaisseur d'affichage

dimensions hors tout

poids net

  • 70 kg

garantie & amp; conformité

  • garantie limitée d'un an avec support à vie
  • certifié CE
  • Un certificat nrtl ou csa est disponible sur demande moyennant des frais supplémentaires.

Notes d'application

  • Cette machine à enduire compacte à pulvérisation magnétron RF 2 "est conçue pour le revêtement de films minces d'oxydes sur des substrats monocristallins en oxydes, qui ne nécessitent généralement pas de réglage sous vide poussé
  • veuillez utiliser & gt; 5n pureté ar gas pour la pulvérisation plasma
  • pour une adhérence optimale entre le film et le substrat, veuillez nettoyer la surface du substrat avant l'application du revêtement:
    • nettoyage par ultrasons avec les bains séquentiels suivants - (1) acétone, (2) alcool isopropylique - pour éliminer les huiles et les graisses. Séchez le substrat avec n2, puis faites cuire à chaud au vide pour éliminer l'humidité absorbée
    • le nettoyage au plasma peut être nécessaire pour rendre la surface rugueuse, activer les liaisons chimiques de surface ou pour éliminer la contamination
    • une couche tampon mince (~ 5 nm), telle que cr, ti, mo, ta, pourrait être appliquée pour améliorer l'adhérence des métaux et des alliages
  • pour des performances optimales, les cibles non conductrices doivent être installées avec une plaque de support en cuivre. veuillez vous référer à la vidéo d'instructions ci-dessous (# 3) pour la liaison cible
  • tmax utilise les revêtements ont bien revêtu zno sur al 2 o 3 substrat à 500 ° C (profil xrd sur la photo n ° 5)
  • ne pas utiliser d'eau du robinet dans le refroidisseur d'eau. utiliser comme colorant de l'eau distillée, de l'eau distillée ou des additifs anticorrosifs.





Magnetron Sputtering Coating









paquet:

1 emballage standard exporté: protection anticollision interne, emballage externe de la boîte en bois.

2 expédition par exprès, par air, par mer selon les exigences des clients pour trouver le moyen le plus approprié.

3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie endommagée pour vous gratuitement.

Heure de livraison : 15-20 jours après confirmation de la commande, détail date de livraison doit être décidé en fonction

saison de production et quantité d'ordre.