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Caractéristiques
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5 pistolets à pulvérisation magnétron pour 5 matériaux cibles différents
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en fonction des alimentations utilisées (rf ou dc), des matériaux métalliques et non métalliques peuvent être déposés.
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capable de pulvériser 5 matériaux cibles pour produire diverses compositions via différents temps / vitesses de pulvérisation
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avec 5 alimentations en option, 5 matériaux cibles peuvent être pulvérisés en même temps pour une pulvérisation combinatoire
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16 échantillons peuvent être déposés en un lot avec un masque et un porte-échantillon rotatif
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la puissance d'entrée
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monophasé 220 Vac, 50/60 Hz
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1000 W (y compris pompe à vide et refroidisseur d'eau)
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source d'énergie
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un générateur RF de 13,5 mhz, 300 W à adaptation automatique est inclus et connecté aux têtes de pulvérisation
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l'interrupteur rotatif peut activer une tête de pulvérisation à la fois. Les têtes de pulvérisation peuvent être commutées "dans le plasma" sans rompre le vide lors d'un processus multicouche.
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plusieurs sources d'alimentation RF sont facultatives, ce qui permet à l'utilisateur de pulvériser simultanément plusieurs cibles en même temps pour la pulvérisation cathodique combinatoire
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Un ordinateur portable avec logiciel de contrôle est disponible moyennant un coût supplémentaire pour contrôler le temps et la puissance de pulvérisation de chaque pistolet RF
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optionnel
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vous pouvez choisir une alimentation en courant continu pour la pulvérisation de cible métallique
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avec cinq alimentations CC ou RF, 5 matériaux cibles peuvent être pulvérisés en même temps pour une pulvérisation combinatoire
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tête de pulvérisation magnétron
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cinq têtes de pulvérisation magnétron de 1 "avec gaines de refroidissement par eau sont incluses et insérées dans la chambre de quartz via des pinces rapides
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Le remplacement du câble RF peut être acheté à tmax
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un volet à commande manuelle est construit sur la bride (voir photo n ° 3)
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un refroidisseur d'eau à recirculation à commande numérique de 10 l / min est inclus pour le refroidissement des têtes de pulvérisation
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cible de pulvérisation
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exigence de taille de la cible: 1 "diamètre x 1/8" épaisseur max
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plage de pulvérisation: 50 - 80 mm réglable
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plage d'angle de pulvérisation: 0 - 25 ° réglable
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1 "diamètre cu cible et al 2 o 3 les cibles sont incluses pour les tests de démonstration
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diverses cibles de pulvérisation d'oxyde 1 ”sont disponibles sur demande moyennant des frais supplémentaires
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pour la liaison à la cible, des plaques de support en cuivre de 1 mm et 2 mm sont incluses. époxy argentée (image n ° 1) et plaques de support en cuivre supplémentaires (image n ° 2) peuvent être commandés à tmax
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chambre à vide
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chambre à vide en acier inoxydable 304 avec nervure de renforcement
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taille de la chambre à vide: 470 mm l × 445 mm d × 522 mm h (~ 105 litres, 18.5 "x17.5" x 20.5 ")
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rond 380 mm dia. porte battante avec fenêtre en verre de 150 mm de diamètre
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plage de température: -15 à 150 ° c
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niveau de vide: 4.0e-5 torr avec pompe turbo
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porte-échantillon
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Porte-échantillon rotatif de 150 mm de diamètre pour le revêtement de 16 échantillons en un lot avec différentes compositions
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la rotation du porte-échantillon et du masque peut être contrôlée manuellement par un bouton ou automatiquement par un logiciel de contrôle (en option)
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la température du porte-échantillon est réglable de 600 à 600 ° C max.
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pompe à vide
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Le port de vide kf40 est intégré pour la connexion à une pompe à vide.
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une pompe turbo compacte est incluse
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4.0e-5 torr avec pompe turbo en option
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optionnel
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le capteur d'épaisseur de quartz de précision est facultatif. il peut être intégré à la chambre pour contrôler l'épaisseur du revêtement avec une précision de 0,1 Å (refroidissement à l'eau requis)
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connexion USB facile au PC pour la surveillance à distance de l'épaisseur et de la vitesse de revêtement
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5 capteurs à quartz (consommables) sont inclus
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poids net
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conformité
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approbation ce
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Une certification conforme (ul 1450) est disponible sur demande moyennant des frais supplémentaires. Veuillez contacter notre représentant des ventes pour obtenir un devis.
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garantie
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garantie limitée d'un an avec support à vie
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Notes d'application
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Cette machine de couchage à pulvérisation magnétron RF 1 "compacte est conçue pour le revêtement de couches minces d'oxydes sur des substrats monocristallins en oxydes, qui ne nécessitent généralement pas une installation sous vide poussé
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un régulateur de pression à deux étages (non inclus) doit être installé sur la bouteille de gaz afin de limiter la pression de sortie du gaz à moins de 0,02 mpa pour une utilisation en toute sécurité. veuillez utiliser & gt; 5n pureté ar gas pour la pulvérisation plasma
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pour une adhérence optimale entre le film et le substrat, veuillez nettoyer la surface du substrat avant l'application du revêtement:
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nettoyage par ultrasons avec les bains séquentiels suivants - (1) acétone, (2) alcool isopropylique - pour éliminer les huiles et les graisses. Séchez le substrat avec n2, puis faites cuire à chaud au vide pour éliminer l'humidité absorbée
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le nettoyage au plasma peut être nécessaire pour rendre la surface rugueuse, activer les liaisons chimiques de surface ou pour éliminer la contamination
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une couche tampon mince (~ 5 nm), telle que cr, ti, mo, ta, pourrait être appliquée pour améliorer l'adhérence des métaux et des alliages
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pour de meilleures performances, les cibles non conductrices doivent être installées avec une plaque de support en cuivre. veuillez vous référer à la vidéo d'instructions ci-dessous (# 3) pour la liaison de cible
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lith fournit le substrat monocristallin de a à z
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Les enduits de pulvérisation cathodique au plasma de rf ont recouvert avec succès du zno sur 2 o 3 substrat à 500 ° c
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tester la flexibilité de l'électrode à couche mince / enrobée avec testeur de flexion de mandrin eq-mbt-12-ld .
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haute tension! les têtes de pulvérisation se connectent à haute tension. pour des raisons de sécurité, l'opérateur doit arrêter le générateur RF avant le chargement de l'échantillon et le changement de cible
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ne pas utiliser d'eau du robinet dans le refroidisseur d'eau. utiliser du liquide de refroidissement, de l'eau di, de l'eau distillée ou des additifs anticorrosifs avec de l'eau
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[email protected]
+0086 15959378975
